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機械行業采用電子束加工小孔的特點

2020-03-18

電子束加工是在真空條件下,利用聚焦后能量密度極高的電子束,以極高的速度沖擊到工件表面極小面積上,在極短的時間內,其能量大部分轉變為熱能,使被沖擊部分的工件材料達到幾千攝氏度以上的高溫,從而引起材料的局部氣化,被真空系統抽走。目前,已能加工直徑小于3um的孔,對微電子學領域里許多零件的打孔特別有利,是微小孔加工工藝中不可缺少的一種加工方法。


電子束加工的特點

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①從理論上講,電子束加工可以加工直徑小于1um的小孔。同時,電子束聚焦后的Z細部分的長度是其斷面直徑的數十倍,所以適用于加工小深孔


②電子束的強度和位置極易由磁場和電場來控制,所以,易于進行程序控制,實現自動化高速打小孔③電子束打小孔時,作用力小,應力及變形很小,在脆性材料、韌性材料、導體及非導體上均可使用


④電子束打小孔是在高度真空中進行,幾乎完全避免了空氣中加工的氧化現象,特別適于在易氧化的材料及純度要求極高的半導體材料上打小孔


⑤電子束打小孔要求數萬伏特的加速電壓和抽高度真空的設備,設備較復雜,價格較貴,因此,在生產應用中有一定的局限性


以上是就是惠州市拓川科技有限公司對機械行業采用電子束加工小孔的特點的描述。

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